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中频磁控溅射电源

方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源
方波中频磁控溅射电源

方波中频磁控溅射电源

应用领域:
  1. 双极性对称磁控溅射靶材

  2. 半导体工艺

  3. 手机外壳

  4. 触摸面板

  5. 钟表、3C及其他产品

主要特点 型号参数 应用领域
01

具备普通中频电源所有功能

具备普通中频电源所有功能

02

镀膜速度提升20%

镀膜速度提升20%以上,镀膜质量及均匀性均有所上升,色差更小,亮度优于普通中频电源

03

灵活设定频率

针对不同靶材灵活设定频率,帮助客户最优化定制抑弧性能、膜层性能、沉积速率

04

平衡靶材溅射速率

平衡靶材溅射速率,延长生产周期,节省靶材成本。还可以实现共溅射功能,溅射不同靶材

05

超宽阻抗范围

超宽的阻抗匹配范围,适合更多种类靶材,工艺窗口更宽

06

全球最领先半导体级抑弧性能

型号参数

项目型号
BS-10BS-20BS-30BS-40BS系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW10KW-100KW可定制
工作电流2A-10A3A-20A5A-30A7A-40A2A-100A可定制
空载电压>1000V
工作电压100V~1000V(可定制)
工作方式恒压、恒流、恒功率
输出频率20kHz~160kHz(常规频率:20kHz~40kHz
波形用户可调方波
占空比5%-94%
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)

710(D)×435(W)×225(H)

810(D)×435(W)×280(H)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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