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直流磁控溅射电源

直流磁控溅射电源
直流磁控溅射电源

直流磁控溅射电源

应用领域:
  1. 工具及金属镀膜

  2. 汽车及装饰镀膜

  3. 金属手机外壳镀膜

  4. 太阳能电池

主要特点 型号参数 应用领域
01

功率模块

采用高频逆变方式及先进的IGBT功率模块,电源效率≥90%

02

效率高

效率高、运行稳定、对电网干扰小

03

精度高

精度高,强大的抑弧功能,响应时间<500ns

型号参数

项目型号

DM-10/A

DM-10/B

DM-20/A

DM-20/B

DM-30/A

DM-30/B

DM-40/A

DM-40/B

DM-60/A

DM-60/B

DM-80/A

DM-80/B

输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW60KW80KW
A款:工作电流2A-10A3A-20A4A-30A5A-40A8A-60A10A-80A
A款:工作电压100V-1000V(空载电压>1000V)
B款:工作电流2A-12.5A3A-25A4A-37.5A5A-50A8A-75A10A-100A
B款:工作电压100V-800V(空载电压>800V)
工作方式恒压、恒流、恒功率
输出频率20kHz~80kHz
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)
810(D)×435(W)×280(H)
安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


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