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正弦波中频磁控溅射电源

正弦波中频磁控溅射电源
正弦波中频磁控溅射电源
正弦波中频磁控溅射电源
正弦波中频磁控溅射电源

正弦波中频磁控溅射电源

应用领域:
  1. 双极性对称磁控溅射靶材

  2. 半导体工艺

  3. 手机外壳

  4. 触摸面板

  5. 钟表、3C及其他产品

主要特点 型号参数 应用领域
01

具备普通中频电源所有功能

具备普通中频电源所有功能

02

镀膜质量及均匀性上升

镀膜质量及均匀性均有所上升,色差更小

03

灵活设定频率

针对不同靶材灵活设定频率,帮助客户最优化定制抑弧性能、膜层性能、沉积速率

04

平衡靶材溅射速率

平衡靶材溅射速率,延长生产周期,节省靶材成本。还可以实现共溅射功能,溅射不同靶材

05

超宽阻抗范围

超宽的阻抗匹配范围,适合更多种类靶材,工艺窗口更宽

06

全球最领先半导体级抑弧性能

型号参数

项目型号
SMS-10SMS-20SMS-30SMS-40SMS系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW10KW-100KW可定制
工作电流2A-10A3A-20A5A-30A7A-40A2A-100A可定制
空载电压>1000V
工作电压100V~1000V(可定制)
工作方式恒压、恒流、恒功率
输出频率20kHz~160kHz(常规频率:20kHz~40kHz
波形用户可调正弦波
占空比5%-94%
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)

710(D)×435(W)×225(H) 

810(D)×435(W)×280(H)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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