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HIPIMS高功率脉冲磁控溅射电源

HIPIMS高功率脉冲磁控溅射电源
HIPIMS高功率脉冲磁控溅射电源

HIPIMS高功率脉冲磁控溅射电源

应用领域:
  1. 各种科研

  2. 镀膜新工艺研发

主要特点 型号参数 应用领域
01

绕射性

绕射性优异

02

耐磨

提供抗腐蚀、耐磨损镀膜

03

现有工艺

方便与现有工艺条件匹配

型号参数

项目型号
HVMS-2HP-500HIPIMS系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出脉冲功率2MW400KW100KW-2000KW可定制
输出电流10A-1000A10A-500A2A-1000A可定制
工作电压100V-2000V100V-800V10V-2000V可定制
输出频率100Hz~2000Hz
占空比1%-10%
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)710(D)×435(W)×225(H)
810(D)×435(W)×280(H)
安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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