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真空镀膜机如何检漏

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-03-22

真空镀膜机作为一种高精密设备,在工艺流程及使用中都需要高度重视其密封性能。为了保证镀膜质量和设备的长久稳定运行,检漏工作则成为了一个非常必要和重要的环节。那么,真空镀膜机如何检漏呢?

首先,我们需要了解真空镀膜机的密封点。通常情况下,真空镀膜机的密封点主要分为以下几类:机械密封,气动密封,真空密封,电器接口等。根据密封点的不同,我们需要选用不同的检漏方式。

对于机械密封,在运行中,由于受到很大的力和磨损,易产生漏气现象。此时我们可以采用静态检漏方式,即在停机状态下,利用探头和专业检漏仪器,对机械密封进行检测。

对于气动密封,则通常采用静态或动态测漏的方式。在静态测漏时,我们需要将气动密封与检漏仪器连接,达到稳态状态后进行检测;在动态测漏时,则需通过转速控制,使气动密封在一定速度下旋转。这种检漏方式更全面、更直观,能够更好地发掘气动密封的漏气问题。

对于真空密封,则通常采用质谱检漏的方式。这种检漏方式是目前较为常用的检漏方法之一,主要是通过质谱仪器检测出被检测物质的分子量,分析分子量的变化情况,从而得知密封是否存在漏气问题。

对于电器接口还可以采用红外检测的方式进行检漏。这种检漏方法主要基于红外辐射的原理,通过专业检漏仪器进行检测。

总的来说,对于真空镀膜机的检漏,不同的密封点需要采用不同的检漏方法,同时还需要掌握专业的操作技巧和检测流程。采用正确的检漏方式,能够及时、准确地发现漏气问题,从而确保真空镀膜机的正常稳定运行,提高设备的使用寿命和产品的质量。


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