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双极性脉冲偏压电源

双极性脉冲偏压电源
双极性脉冲偏压电源

双极性脉冲偏压电源

应用领域:

1.多弧离子、磁过滤电弧离子、直流磁控溅射、中频磁控等镀膜工艺

2.被镀工件表面的辉光放电清洗

3.镀膜前的离子轰击

4.镀膜时的离子加速

主要特点 型号参数 应用领域
01

改善质量

改善膜层质量,提高膜层均匀性

02

效率高

具有效率高、运行稳定等优点

03

增加膜层

增加膜层与基体结合力,提高沉积速率

04

抑制异常放电

主动释放工件异常电荷积累,有效抑制工件表面异常放电

05

改变规则

改变沉积规则,调整膜层颜色

型号参数

项目型号
BP-10BP-20BP-30BP-40BP系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW10KW-100KW可定制
工作电流11A22A33A44A2A-100A可定制
工作电压80V-800V/10V-100V
输出频率10kHz~40kHz
占空比10%~80%(最大94%)
空载电压>800V
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)

710(D)×435(W)×225(H)

710(D)×435(W)×225(H)

810(D)×435(W)×280(H)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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