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中频磁控溅射电源

中频磁控溅射电源
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中频磁控溅射电源
中频磁控溅射电源
中频磁控溅射电源
中频磁控溅射电源
中频磁控溅射电源
中频磁控溅射电源

中频磁控溅射电源

应用领域:
  1. 双极性对称磁控溅射靶材

  2. 半导体工艺

  3. 手机外壳

  4. 触摸面板

  5. 钟表、3C及其他产品

主要特点 型号参数 应用领域
01

高能保护

具备过压、过载和过热等保护

02

表面致密光洁

增加离化率,膜层致密、光洁度较好

03

强大的抑弧功能

有效抑制靶面异常放电,响应时间<500ms

04

精确调节

功率、电压或电流三大模式

05

高效可靠

可靠性高,电源效率高

型号参数

项目型号

MS-10/A

MS-10/B

MS-20/A

MS-20/B

MS-30/A

MS-30/B

MS-40/A

MS-40/B

MS-50/A

MS-50/B

MS-60/A

MS-60/B

MS-80/A

MS-80/B

MS-100/A

MS-100/B

MS系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW50KW60KW80KW100KW10KW-200KW可定制
A款:工作电流2A-10A3A-20A5A-30A7A-40A9A-50A10A-60A15A-80A20A-100A2A-200A可定制
A款:工作电压100~1000V(空载电压>1000V)
B款:工作电流2A-12.5A3A-25A5A-37.5A7A-50A9A-62.5A10A-75A15A-100A20A-125A-
B款:工作电压100~800V(空载电压>800V)-
输出频率20kHz~350kHz(常规频率:20kHz~40kHz)
占空比80%
工作方式恒压、恒流、恒功率
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)810(D)×435(W)×280(H)
安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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