具备过压、过载和过热等保护
增加离化率，膜层致密、光洁度较好
有效抑制靶面异常放电，响应时间＜500ms
功率、电压或电流三大模式
可靠性高，电源效率高
| 项目 | 型号 | ||||||||
MS-10/A MS-10/B | MS-20/A MS-20/B | MS-30/A MS-30/B | MS-40/A MS-40/B | MS-50/A MS-50/B | MS-60/A MS-60/B | MS-80/A MS-80/B | MS-100/A MS-100/B | MS系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||||||
| 输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 50KW | 60KW | 80KW | 100KW | 10KW-200KW可定制 |
| A款:工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 5A-30A | 7A-40A | 9A-50A | 10A-60A | 15A-80A | 20A-100A | 2A-200A可定制 |
| A款:工作电压 | 100～1000V（空载电压＞1000V） | ||||||||
| B款:工作电流 | 2A-12.5A | 3A-25A | 5A-37.5A | 7A-50A | 9A-62.5A | 10A-75A | 15A-100A | 20A-125A | - |
| B款:工作电压 | 100～800V（空载电压＞800V） | - | |||||||
| 输出频率 | 20kHz～120kHz（常规频率:20kHz～40kHz） | ||||||||
| 占空比 | 80% | ||||||||
| 工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||||||
| 调节精度 | ≤1% | ||||||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||||||
| 响应时间 | ＜500ns | ||||||||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口，MODBUS通讯协议 | ||||||||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||||||
| 尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 810(D)×435(W)×280(H) | ||||||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | ||||||||
