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单极性脉冲磁控溅射电源_深圳市英能电气有限公司

单极性脉冲磁控溅射电源
单极性脉冲磁控溅射电源

单极性脉冲磁控溅射电源

应用领域:

1.单极性磁控溅射靶材

2.金属膜、碳膜和部分氧化物

3.氮化物及碳化物膜

主要特点 型号参数 应用领域
01

电弧反应灵敏

提高镀膜效率、降低成本

02

有效改善

有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数

03

提高质量

提高膜层均匀性和质量

型号参数

项目型号
PM-100WPM-500W

PM-10/A

PM-10/B

PM-20/A

PM-20/B

PM-30/A

PM-30/B

PM-40/A

PM-40/B

PM-60/A

PM-60/B

PM-80/A

PM-80/B

输入电压24Vdc220V ±10% ,50~60 Hz三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率100W500W10KW20KW30KW40KW60KW80KW
A款:工作电流1-100mA1A2A-10A3A-20A4A-30A5A-40A8A-60A10A-80A
A款:工作电压10V~1000V10V~500V100V~1000V(空载电压>1000V)
B款:工作电流--2A-12.5A3A-25A4A-37.5A5A-50A8A-75A10A-100A
B款:工作电压--100V~800V(空载电压>800V)
空载电压>1000V>500V-
工作方式恒压、恒流、恒功率恒压、恒流、恒功率
输出频率-40kHz~80kHz20kHz~350kHz(常规频率:20kHz~80kHz
占空比-10%-94%10%-80%(最大94%)
调节精度≤1%≤1%
工作效率≥90%≥90%
响应时间<500ns<500ns
通讯方式RS485RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式-风冷风冷+水冷
尺寸(mm)260(D)×160(W)×75(H)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)
810(D)×435(W)×280(H)
安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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