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单极性脉冲偏压电源

单极性脉冲偏压电源
单极性脉冲偏压电源

单极性脉冲偏压电源

应用领域:

1.多弧离子、磁过滤电弧离子、直流磁控溅射、中频磁控等镀膜工艺

2.被镀工件表面的辉光放电清洗

3.镀膜前的离子轰击

4.镀膜时的离子加速

主要特点 型号参数 应用领域
01

改善质量

改善膜层质量,提高膜层均匀性

02

效率高

具有效率高、运行稳定等优点

03

增加膜层

增加膜层与基体结合力,提高沉积速率

04

抑弧功能

强大的抑弧功能,有效抑制靶面异常放电

05

改变规则

改变沉积规则,调整膜层颜色

型号参数

项目型号

LDP-10/A

LDP-10/B

LDP-20/A

LDP-20/B

LDP-30/A

LDP-30/B

LDP-40/A

LDP-40/B

LDP系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出功率10KW20KW30KW40KW10KW-100KW可定制
A款:工作电流2A-10A3A-20A4A-30A5A-40A2A-100A可定制
A款:工作电压100V~1000V(空载电压>1000V)
B款:工作电流2A-12.5A3A-25A4A-37.5A5A-50A-
B款:工作电压100V~800V(空载电压>800V)-
输出频率20kHz~350kHz(常规频率:20kHz~80kHz
占空比10%~80%(最大94%)
工作方式恒压、恒流、恒功率
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)390(D)×425(W)×142(H)710(D)×435(W)×225(H)

710(D)×435(W)×225(H) 

810(D)×435(W)×280(H)

安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护


应用领域

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