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霍尔离子源电源在真空镀膜中的应用

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霍尔离子源电源在真空镀膜中的应用

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-04-24

霍尔离子源电源是一种高能量束离子源,是真空镀膜中广泛应用的离子源之一。在真空镀膜过程中,霍尔离子源电源可通过提供高能量的离子束,在物体表面形成薄膜。其离子束中可以包含多种离子,如氮、氧、氩等离子,可应用于各种材料的涂覆。

与其他离子源相比,霍尔离子源电源具有以下优点:高能量束离子源、离子束能量可调节、离子束方向可控制、离子来源广泛、操作简单等。同时,它还具有高镀膜速率、均匀涂层等优点,被广泛应用于电子、光电子、微电子、生物医学等领域。

在电子领域,霍尔离子源电源可应用于半导体材料的制作,它可以利用不同离子束的效应来选择性地清除受污染的表面杂质,以及在半导体表面嵌入所需的材料元素,如硼、磷等。同时,它还可用于薄膜晶体管的制造。

在光电子领域,霍尔离子源电源被广泛应用于光学薄膜、光学增强膜、滤光片等光学元件的制作。其高能离子编制和较高的涂层速率,使得它能受到广泛欢迎。

在微电子领域,霍尔离子源电源可以用于微电子元件的制造。一些先进的微电子器件,例如微处理器、场效应管、激光二极管等,需要薄膜加工技术。因此,霍尔离子源电源是微电子领域中的必要设备。

在生物医学领域,霍尔离子源电源可以用于人工晶体、人工关节等生物医学材料的制作。即使在制造人工晶体的过程中,霍尔离子源电源也可以用于减少生产过程的污染、提高材料的稳定性和性能。

全国生产霍尔离子源电源的厂家不多,很多还要依靠进口,目前深圳英能作为其中一家能够生产霍尔离子源的厂家,还可以根据实际使用的参数定制,欢迎您的垂询,联系电话18025476062.


深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,已获得高新技术企业认定,通过iso:认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:180-2547-6062

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