作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-05-29
真空镀膜机是工业生产中常用的一种设备。其中的中频电源是镀膜设备中重要的组成部分，通常用于推动镀膜的原料进行离子反应。然而，真空室在使用中频电源过程中可能会发生黑化现象。这是为什么呢？
我们需要了解中频电源镀膜的工作原理。在工作过程中，中频电源通过引导磁场产生电流，在真空室内与原料发生离子反应。这个过程中，产生的等离子体会和真空室的内壁反应，形成一层黑色的氧化物。这层氧化物的形成既影响了真空室与等离子体的反应效果，同时也会影响薄膜的均匀性和质量。所以，我们称这个现象为黑化。
该问题如何解决呢？首先，需要升级真空镀膜机的设备选项。将真空室内表面涂上特殊的抗反应材料可以有效防止氧化反应的发生，从而降低黑化现象的发生率。此外，在中频电源工作前，经过清洗真空室应尽量减少真空室内的杂质物。增加氧气或氢气的供应量可以促进等离子体与杂质反应，帮助净化真空室。另外，是增大中频电源输出功率，提高质子反应效率，缩短镀膜时间，减轻金属反应与环境反应，从而减少黑化现象。
在使用真空镀膜机过程中，黑化是一个常见却困扰人的问题。我们应该在选购设备时选购高质量的真空镀膜设备，升级设备选项来应对黑化问题。同时，增大中频电源输出功率和增加氧气或氢气的供应量，也可以有效解决黑化问题，提高薄膜镀层的质量和均匀性。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
