作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-10-09
随着时代发展科技进步，偏压电源的制造从早期的可控硅技术，升级到现在的高频逆变技术。可以说在真空离子镀膜中，偏压电源的好坏对于成膜质量起着非常关键的作用。比如常见的单极性脉冲偏压电源，其高频单极脉冲偏压施压在工件上，由于存在电压中断间隙，能有效减少打火次数，保护工件表面。在脉冲间隙期间，工件表面积累的电荷可以被中和，从而减少了表面电荷积累引起的打火。高频逆变技术中的快速关断能力，能有效减少每次打火释放的能量，即使在打火出现时，也能明显降低工件表面大损伤程度；脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低，并且通过调节频率、占空比要改善和控制成膜速度和质量。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
