作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-03-07
使用真空镀膜电源时，需要注意以下事项：
1. 安全防护：真空镀膜电源应具备过压、过流和过热的基本防护功能。确保当输入电压不稳定、工作电流超过预定值或电源工作温度过高时，电源能够自动断电，以避免出现安全隐患。
2. 规范操作：在使用真空镀膜机设备时，应遵循具体的操作流程和注意事项。启动电源主开关前，检查电压、气压和冷却循环水是否正常。启动扩散泵和维持泵时，注意电流是否正常以及泵的油位和皮带松紧是否合适。关闭设备门进行抽真空时，检查各项参数和性能有无异常，并做好记录以备日后检修参考。
3. 参数监控：在镀膜过程中，要实时监控关键参数如真空室内温度、气压以及靶电源(偏压电源)的电压和电流。这些参数影响着膜层质量和成膜速率，因此需保持它们在最佳范围内。
4. 维护与保养：定期对真空镀膜设备和电源进行维护和保养，检查各部件的磨损和老化情况，及时更换损坏部件，以确保设备的稳定性和可靠性。
5. 学习与培训：操作人员应接受专业培训，熟练掌握真空镀膜机安全操作规程和电源的使用方法。了解设备的结构、原理和维护知识，提高操作技能和应急处理能力。
6. 环境与安全：保持真空镀膜设备和电源的工作环境清洁、干燥、通风良好。远离易燃、易爆物品和腐蚀性气体，确保设备和操作人员的安全。
总之，使用真空镀膜电源时，应注重安全防护、规范操作、参数监控、维护与保养以及学习与培训等方面。确保设备的正常运行和操作人员的安全，提高镀膜质量和生产效率。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
