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真空镀膜电源

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什么是中频磁控溅射电源?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-04-15

  中频磁控溅射电源是一种高效能、高稳定性的真空镀膜电源,它将大功率中频电源与磁控溅射技术相结合,以达到高质量、高效率、高稳定性的镀膜工艺。具体来说,磁控溅射是一种常用的物理气相沉积技术,通过在真空室中使用磁场和高频电场激发靶材表面的原子或离子,使其喷发并沉积在基底上形成薄膜。

  中频磁控溅射电源的特点包括:

  1. 高效率:中频电源可以提供稳定、高效的能量,能更快速、更均匀地形成溅射等离子体,用较短的时间涂覆出更大的面积,从而大幅缩短生产时间。

  2. 高稳定性:中频电源稳定性好,其输出电流和电压波动小,可以减少生产过程中的异常情况和误差,提高生产效率和质量。

  3. 高档次:此电源可以制备出材料的高质量、高性能的夹层结构,使产品更适应市场需求。

  此外,中频磁控溅射电源的频率通常在10kHz至100kHz之间。相较于低频和高频,中频对靶材表面的附着力更强,有更高的利用率。同时,中频也能减少电弧的产生,提高工作稳定性。它还能产生强大的磁场,与磁控溅射靶材的磁性材料相互作用,形成磁控区,有效地控制离子的行为,提高溅射效率,使沉积薄膜均匀且致密。

  中频磁控溅射电源广泛应用于各种领域,如红宝石激光、VD射频退火、液晶显示、半导体材料、太阳能电池板、先进涂层等,是各种工业和研究应用中最好的材料表面涂覆工具之一。

  以上信息仅供参考,如需了解更多信息,建议查阅相关书籍或咨询磁控溅射镀膜技术领域的专业人士。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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