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离子镀膜技术的分类

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离子镀膜技术的分类

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-08-10

真空镀膜技术的了解我们总能熟知一二,但是是否了解其中的工作原理,是否能分清属于哪种镀膜方式,无论哪种镀膜方式,都需要真空镀膜电源

按照膜层物质源来分类,分为气态物质源和固态物质源,采用气态物质源的技术属于化学气相沉积,采用固态物质源的属于物理气相沉积。按照固态物质源气化为气态膜层粒子的方式分类,分为热蒸发方式和阴极溅射方式,采用热蒸发方式的镀膜技术叫蒸发型镀膜技术,采用阴极溅射方式镀膜的技术叫溅射型镀膜技术,按照镀膜过程产生的放电方式分类分为辉光放电型离子镀膜技术和弧光放电型离子镀膜技术,在这两种放电型的镀膜技术中都采用了不同形式的电场/磁场来激励放电过程。我们把这些分类原则分别归纳在下面这两个表中,一个是固态物质源分类表,一个气态物质源分类表。首先我们来看固态物质源离子镀膜技术分类表。

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所以通过前面的阐述,不是所有的镀膜加工都需要用到电源,只有需要电离的设备需要配置电源,根据镀膜特点,分别会用到中频磁控溅射电源脉冲偏压电源离子源等各种真空镀膜电源,这些电源,英能均能提供,还能提供特殊定制的电源,欢迎您的来电咨询,咨询电话:18025476062(微信同号)

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