作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-05-15
使用双极性脉冲偏压电源时，需要注意以下几点以确保其安全、稳定和有效地工作：
电源连接与接地：
确保电源正确连接，并接地以防止静电或电磁干扰。
避免在电源附近使用水或湿布，以防触电。
参数设置：
在操作之前，仔细检查并设置电源参数，包括电压、电流、脉冲频率、占空比以及正负极性的切换时间等，确保它们符合工艺要求。
根据工艺需求调整脉冲的幅度、宽度和频率，以获得最佳的工艺效果。
安全防护：
佩戴适当的个人防护装备，如绝缘手套、护目镜等，以防止可能的电击或溅射伤害。
确保工作环境安全，避免其他潜在的干扰因素，如电磁干扰、震动等。
维护与检查：
定期对电源进行维护和检查，包括清洁、紧固连接件、检查电缆和接线等。
注意观察电源的运行状态，如温度、噪音等，如有异常应及时处理。
正负极性切换：
双极性脉冲偏压电源具有正负极性切换的功能，注意在切换过程中确保系统的稳定性和安全性。
在切换极性时，注意避免对设备或工艺造成不良影响，如电荷积累、打火或电弧现象等。
遵循操作手册：
严格按照电源的操作手册进行操作，不要随意更改设置或进行未经授权的维修。
备份与应急措施：
在使用双极性脉冲偏压电源时，建议制定备份计划和应急措施，以应对可能的故障或问题。
确保有专业的技术人员进行故障排查和维修，以减少生产中断和损失。
通过遵循以上注意事项，可以确保双极性脉冲偏压电源在安全、稳定和有效的状态下运行，为工艺过程提供可靠的电力支持。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
