作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-05-17
单极性脉冲偏压电源在特定的情况下会释放能量，主要是当电源产生脉冲电压并将其施加到工件或电极上时。以下是具体的情况说明：
脉冲产生与施加：当单极性脉冲偏压电源工作时，它会根据预设的参数(如电压幅度、脉冲频率、占空比等)产生脉冲电压。这些脉冲电压随后被施加到工件或电极上，用于驱动或控制相关的工艺过程。
离子加速与能量传递：在真空环境或类似条件下，单极性脉冲偏压电源提供的脉冲电压可以形成一个加速电场。这个电场能够使真空室中的离子获得能量并加速，进而轰击工件表面。在轰击过程中，离子会将其动量传递给工件表面，从而实现薄膜沉积、表面清洁或改性等工艺目的。
中和效应：单极性脉冲偏压电源在电压中断期间会提供一个特殊的条件，即工件表面的电荷有机会被中和。这是因为当脉冲电压停止施加时，工件表面的电荷会逐渐消散或与其他电荷中和。这种中和过程减少了表面电荷积累引起的电场屏蔽效应，从而保证了离子能够持续受到加速并维持较高的能量。
综上所述，单极性脉冲偏压电源在产生脉冲电压并将其施加到工件或电极上时，会通过加速电场使离子获得能量并轰击工件表面。同时，在电压中断期间的中和效应也有助于维持离子的高能量状态。这些过程共同实现了单极性脉冲偏压电源的能量释放和工艺效果。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
