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单极性脉冲偏压电源在什么情况下会释放能量?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-17

  单极性脉冲偏压电源在特定的情况下会释放能量,主要是当电源产生脉冲电压并将其施加到工件或电极上时。以下是具体的情况说明:

  脉冲产生与施加:当单极性脉冲偏压电源工作时,它会根据预设的参数(如电压幅度、脉冲频率、占空比等)产生脉冲电压。这些脉冲电压随后被施加到工件或电极上,用于驱动或控制相关的工艺过程。

  离子加速与能量传递:在真空环境或类似条件下,单极性脉冲偏压电源提供的脉冲电压可以形成一个加速电场。这个电场能够使真空室中的离子获得能量并加速,进而轰击工件表面。在轰击过程中,离子会将其动量传递给工件表面,从而实现薄膜沉积、表面清洁或改性等工艺目的。

  中和效应:单极性脉冲偏压电源在电压中断期间会提供一个特殊的条件,即工件表面的电荷有机会被中和。这是因为当脉冲电压停止施加时,工件表面的电荷会逐渐消散或与其他电荷中和。这种中和过程减少了表面电荷积累引起的电场屏蔽效应,从而保证了离子能够持续受到加速并维持较高的能量。

  综上所述,单极性脉冲偏压电源在产生脉冲电压并将其施加到工件或电极上时,会通过加速电场使离子获得能量并轰击工件表面。同时,在电压中断期间的中和效应也有助于维持离子的高能量状态。这些过程共同实现了单极性脉冲偏压电源的能量释放和工艺效果。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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