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真空镀膜电源

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单极性脉冲磁控溅射电源的主要特点

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-17

  单极性脉冲磁控溅射电源的主要特点包括以下几个方面:

  明显改善靶面电荷积累现象:在溅射过程中,靶面会积累电荷,这可能导致打火现象和溅射不稳定。单极性脉冲磁控溅射电源的设计可以有效地改善这一问题,提高溅射过程的稳定性和可靠性。

  减小溅射表面的打火次数:通过优化电源的输出特性和脉冲参数,单极性脉冲磁控溅射电源可以减少溅射表面的打火次数,从而保护溅射设备和靶材,延长其使用寿命。

  提高膜层质量:单极性脉冲磁控溅射电源能够提供稳定的电压和电流输出,确保溅射过程的一致性,从而制备出质量更高、更均匀的膜层。

  平均电源稳定功能:该电源具有理想的电压陡降特性,能够在溅射过程中保持稳定的电压输出,确保溅射过程的连续性和稳定性。

  脉冲控制:通过调整脉冲宽度和脉冲频率,可以精确控制溅射过程中的能量分布和溅射速率,以满足不同工艺的需求。

  广泛的适用性:单极性脉冲磁控溅射电源主要用于金属、合金及石墨等靶材镀制金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。

  综上所述,单极性脉冲磁控溅射电源以其独特的优点在溅射技术领域得到了广泛应用。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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