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中频磁控溅射电源的特点

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-22

  中频磁控溅射电源的特点主要包括以下几个方面:

  中频工作频率:中频磁控溅射电源的工作频率通常在10 kHz至100 kHz之间。相较于低频和高频电源,中频电源对靶材表面的附着力更强,从而提高了靶材的利用率。同时,中频电源也能减少电弧的产生,提高工作稳定性。

  磁屏蔽能力:中频磁控溅射电源能够产生强大的磁场,与磁控溅射靶材的磁性材料相互作用,形成磁控区。这种磁控区可以有效地控制离子的行为,提高溅射效率,并使得沉积薄膜均匀且致密。

  稳定的电源输出:中频磁控溅射电源能够提供稳定的电源输出,以满足溅射过程中的功率需求。其经过精确的控制和调节,可以确保膜层的均匀和质量。

  多种保护功能:中频磁控溅射镀膜电源具有多种保护功能,如过电流保护、过压保护、过热保护等。这些保护机制可以保护设备和材料避免受到损坏。

  高效的能量转换:中频电源可以提供稳定、高效的能量,能更快速、更均匀地形成溅射等离子体,从而大幅缩短生产时间。

  广泛适用性:中频磁控溅射电源广泛应用于金属薄膜、氧化物薄膜、金属合金薄膜等材料的制造。

  请注意,虽然中频磁控溅射电源具有许多优点,但在使用过程中仍需注意相关问题,如设备复杂性、成本以及对基底材料的要求等。在选择是否使用中频磁控溅射电源时,需要根据具体的应用需求和条件进行综合考虑。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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