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中频磁控溅射电源分类有哪些

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-24

  中频磁控溅射电源的分类主要基于其特性和功能,具体可以分为以下几种类型:

  直流恒压型:这种电源输出直流恒定电压,适用于靶材材料的溅射,能够提供稳定的能量输送。

  直流恒流型:输出直流恒定电流,适用于溅射过程中需要稳定的电流输入的场合,如溅射金属材料。

  脉冲型:输出电压或电流呈脉冲形式,这种电源的能量密度更高,聚焦区域更小,适用于一些高密度微结构的制备和表面修饰。脉冲切换的电场可以增强离子的动能,使得溅射速率更高,薄膜质量更好。

  反馈型:通过反馈控制回路,自动调节电源的输出电压或电流,以保证溅射过程的稳定性。

  大功率型:输出功率较高,可用于大面积或高速溅射的工艺过程,如制备大面积薄膜或在工业生产线上应用。

  此外,根据电源的频率和功率等特性,中频磁控溅射电源还可以进一步细分为不同的型号和规格。这些电源在磁控溅射技术中扮演着重要的角色,能够满足不同工艺和应用的需求。

  请注意,以上分类仅供参考,具体分类可能因厂家和应用领域的不同而有所差异。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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