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真空镀膜电源

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PVD真空镀膜机原理

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-30

  PVD真空镀膜机(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)的原理基于在真空环境下,利用物理方法将固体材料(称为靶材)转化为气态原子、分子或离子,然后这些气态物质沉积在基底(待镀膜的材料)上,形成一层薄膜。这个过程通常包括以下步骤:

  真空环境:首先,需要将镀膜室抽成真空状态,以消除气体分子对镀膜过程的影响。真空度的高低直接影响镀膜的质量和性能。

  靶材加热:在真空环境下,通过加热或其他物理方法(如溅射、离子束轰击等)使靶材表面的原子或分子获得足够的能量而脱离靶材表面,形成气态物质。

  气态物质运输:气态物质在真空中扩散并输运到基底表面。这个过程中,气态物质的密度、温度和压力等因素会影响其运输效率和沉积效果。

  沉积成膜:气态物质在基底表面沉积并逐渐形成一层薄膜。这个过程中,薄膜的厚度、均匀性和结构等特性受到多种因素的影响,如靶材的种类、基底的性质、沉积时间等。

  PVD真空镀膜技术具有许多优点,如膜层与基底的结合力强、膜层硬度高、耐磨性和耐腐蚀性好等。因此,它被广泛应用于各种领域,如光学、电子、装饰、航空航天等。常见的PVD镀膜技术包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜等。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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