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真空镀膜电源

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单极性脉冲磁控溅射电源的应用领域介绍

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-06-07

  单极性脉冲磁控溅射电源是一种采用矩形波电压的脉冲电源,主要用于替代传统的直流电源进行磁控溅射沉积。它的主要应用领域包括:

  功能性薄膜制备:单极性脉冲磁控溅射电源能够有效地抑制电弧产生,消除薄膜缺陷,并提高溅射沉积速率和膜层质量。因此,它常被用于制备具有特定功能的薄膜,如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。

  装饰领域:在装饰领域,单极性脉冲磁控溅射电源可以用于制备各种全反射膜及半透明膜等,提高产品的外观质量和耐久性。

  微电子领域:在微电子领域,单极性脉冲磁控溅射电源作为一种非热式镀膜技术,主要应用于化学气相沉积(CVD)或金属有机物中,用于制备各种电子元件和半导体器件的薄膜材料。

  光学领域:在光学领域,单极性脉冲磁控溅射电源可用于制备增透膜、低辐射玻璃和透明导电玻璃等,满足平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等的应用需求。

  此外,单极性脉冲磁控溅射电源在半导体制造中也有广泛应用,用于制备金属薄膜、氧化物薄膜、氮化物薄膜等。由于它能够提高薄膜的均匀性、可控性强、沉积速度快以及广泛的材料适应性,因此在半导体行业中得到了广泛应用。

  总的来说,单极性脉冲磁控溅射电源在新材料制备领域具有广泛的应用前景,为新材料行业的发展注入了新的动力。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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