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真空镀膜电源

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真空镀膜电源的开机跟关机都会有哪些不同的点?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-06-26

  真空镀膜电源的开机和关机步骤及其特点如下:

  开机步骤及特点:

  准备工作:开机前,需熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”,并检查水、电、气是否正常。冷却水压力一般可在0.2MPa以上,气压在0.4Mpa以上,电压在370-390V。

  开机顺序:

  首先启动气动机械泵。

  约30秒后,打开前级阀。

  开启复合真空计。

  待前级抽至10Pa以下且稳定时,再开启扩散泵(需到后面查看电炉丝是否发红)。

  关机步骤及特点:

  关闭顺序:

  首先关闭电离计。

  关闭高阀。

  切断加热器电源。

  使用前级泵抽前级,让其自然降至室温。

  关闭前级管道阀。

  停止机械泵。

  停止冷却水、电和气的供应。

  总结不同点:

  操作流程:开机步骤是逐步开启设备各组件,而关机步骤则是逐步关闭各组件,并确保设备安全地冷却至室温。

  关注点:开机时,需要关注各组件启动的顺序和时间间隔,特别是扩散泵的启动条件(前级抽至10Pa以下且稳定)。关机时,需要确保设备安全、稳定地冷却至室温,防止设备过热或损坏。

  安全因素:无论是开机还是关机,都需要严格遵守安全操作规程,确保操作人员的安全和设备的稳定运行。

  以上是真空镀膜电源开机和关机的步骤及特点,供您参考。在实际操作中,还需要根据具体的设备型号和操作规程进行调整。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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