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真空镀膜电源

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真空镀膜电源的日常操作有什么样的规律吗?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-07-08

  真空镀膜电源的日常操作确实有一定的规律可循,以下是结合参考文章中的信息,对真空镀膜电源日常操作规律的清晰归纳:

  一、开机前准备

  检查设备:确保真空镀膜机及其电源设备处于良好状态,无损坏或异常现象。

  水压检查:在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,并随时注意水压,确保水压稳定且符合设备要求。

  二、开机操作

  开启电源:按照正确的顺序开启电源,包括电控柜的总电源、维持泵、真空计电源等。

  真空抽取:

  开启机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

  观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能进行后续操作。

  三、镀膜操作

  在离子轰击和蒸发时,特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。

  在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。

  镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。

  四、关机操作

  关闭高真空表头、分子泵。

  待分子泵显示到50时,依次关闭高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。

  到50以下时,再关闭维持泵。

  工作完毕应断电、断水。

  五、安全注意事项

  易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。

  酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。

  把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。

  六、日常维护和保养

  定期对真空镀膜电源及其相关设备进行维护和保养,确保其处于最佳工作状态。这包括清洁设备、检查电线接头、更换磨损部件等。

  总之,真空镀膜电源的日常操作需要遵循一定的规律,包括开机前准备、开机操作、镀膜操作、关机操作以及安全注意事项等。同时,日常维护和保养也是确保设备长期稳定运行的关键。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958


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