1. 直流（DC）溅射电源
作为基础款镀膜电源，直流溅射电源输出稳定连续的直流电压，结构简单、运行稳定、性价比高，主要适配铜、铝、不锈钢等金属靶材的磁控溅射工艺，广泛应用于普通五金装饰镀膜、常规金属薄膜沉积、低端光学镀膜等场景，是传统镀膜生产线的标配设备，适合大批量、标准化基础镀膜生产。
2. 中频（MF）交流溅射电源
中频电源采用高频交流输出模式，可有效解决直流镀膜工艺中非金属靶材充电积热、靶面打火的行业痛点，能够稳定适配二氧化硅、氧化铝等非金属、介质靶材的溅射镀膜。同时可精准平衡双靶材溅射速率，减少靶材损耗，提升膜层一致性，主要用于光学镜片镀膜、玻璃镀膜、绝缘薄膜制备等中高端场景，也是PECVD化学镀膜工艺的核心配套电源。
3. 脉冲直流电源
脉冲直流电源采用间歇式脉冲输出方式，可快速抑制电弧放电、精准灭弧，有效改善工件表面异常放电导致的膜层瑕疵，同时降低基材温升，适配塑料、玻璃等不耐高温基材的镀膜生产。其输出能量可控性极强，可制备致密性更高、耐磨性更强的超硬涂层，常用于模具刀具DLC涂层、精密五金耐磨涂层、柔性基材镀膜等高精度、高要求场景。
4. 射频（RF）电源
射频电源以13.56MHz高频频率输出，等离子体激发能力更强，可实现各类金属、非金属、陶瓷靶材的稳定溅射，是高端精密镀膜的核心动力设备。凭借超高的参数精度与稳定性，主要应用于半导体晶圆镀膜、精密光学器件、微电子元器件、航天航空精密部件等高端领域，满足纳米级超薄、超均匀薄膜的制备需求。
