作者:深圳市英能电气有限公司
时间:2026-06-30
导语
真空镀膜电源作为真空镀膜设备的核心心脏,直接决定膜层均匀度、良品率与产线综合成本。十余载深耕真空等离子电源赛道,我们坚持自主研发、全链路国产化创新,以稳定可靠的数字电源产品、一站式镀膜工艺电源解决方案,打破海外品牌长期垄断,成长为国内集研发、生产、定制、售后于一体的专业 PVD 镀膜电源标杆制造企业,为光伏、光学、半导体、刀具、3C 五金、医疗器械等全行业镀膜产线提供高性价比国产核心动力源。
一、十余年技术深耕,筑牢国产电源自研根基
自创立之初,我们便聚焦真空磁控溅射、多弧离子镀等离子电源核心技术攻坚,摒弃简单模组组装模式,实现逆变拓扑、数字控制算法、智能抑弧系统、射频自适应匹配全链条自主研发。
团队核心研发人员均拥有十年以上等离子体、高频特种电源开发经验,搭建标准化研发实验室与全套等离子放电测试平台,针对镀膜行业长期痛点持续迭代优化:攻克靶材频繁打火、靶中毒、膜层厚薄不均、高负载阻抗波动、多电源同舱干扰等行业难题,推出微秒级智能灭弧、全数字闭环功率调控、四象限动态负载适配等多项自研核心技术,多项技术指标对标进口一线品牌,部分功能实现超越。十余年间,公司累计取得数十项发明专利、实用新型专利,获评国家高新技术企业,通过 ISO 质量体系,从源头保障每一台 PVD 电源的稳定性、一致性与耐用性,真正实现核心技术自主可控,助力真空镀膜产业链国产化替代落地。
依托多年工艺沉淀,我们构建完整真空镀膜电源产品线,可适配各类 PVD 镀膜设备、连续式量产产线、实验室研发设备,支持按需功率、功能定制改造:
具备过压、过载和过热等保护,增加离化率,膜层致密、光洁度较好,有效抑制靶面异常放电,响应时间〈500ms,功率、电压或电流三大模式,可靠性高,电源效率高。
无源触点引弧方式,电弧反应灵敏,稳弧效果好,提供硬度高、抗腐蚀、耐磨损镀膜,镀膜质量稳定,膜层致密、均匀,与底层结合好。
改善膜层质量,提高膜层均匀性,具有效率高、运行稳定等优点,增加膜层与基体结合力,提高沉积速率,主动释放工件异常电荷积累,有效抑制工件表面异常放电,改变沉积规则,调整膜层颜色。
十余载深耕,初心不改。我们始终以 “打造全球一流国产真空镀膜电源” 为发展目标,持续加大研发投入,布局新一代数字化、智能化、大功率等离子电源技术,深挖 HiPIMS、射频、脉冲等离子前沿工艺配套方案。未来,公司将持续深耕真空镀膜核心部件国产化赛道,以更稳定的产品、更完善的定制方案、更贴心的全周期服务,赋能国内真空镀膜产业高质量发展,助力更多制造企业摆脱进口依赖,让高品质国产 PVD 等离子电源走向全国、远销海外。


