作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2026-09-22
在光伏电池制造工艺中，薄膜镀膜是决定电池光电转换效率的核心工序。电池片表面薄膜的均匀度、致密性与膜层稳定性，直接影响载流子传输能力，最终决定电池的发电性能。传统镀膜电源易出现输出波动、靶面打火、膜层厚薄不均等问题，制约光伏产线良率与电池转换效率提升。
光伏镀膜产线专用中频磁控溅射电源，针对光伏电池磁控溅射镀膜场景深度开发，专为光伏电池减反膜、钝化膜、导电膜等薄膜沉积工艺设计，适配大规模连续化光伏镀膜生产线。
电源采用稳定中频输出技术，输出功率持续可控，抑制靶材打火、弧光放电现象，减少靶材损伤与膜层缺陷，保障整片电池片膜层厚度均匀一致。均匀致密的薄膜可降低光反射损耗，优化钝化效果，有效提升光伏电池光电转换效率，同时降低碎片率，提升整条产线良品率。
设备具备快速响应的弧光检测与保护机制，弧光发生时毫秒级切断输出，减少工艺中断；宽范围功率调节，适配不同薄膜材料、不同产能节拍的镀膜需求。整机运行能耗优化，长期生产可降低单位电池片的制造成本，适配 TOPCon、HJT 等主流新一代电池产线升级改造与新线配套。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
