全国服务热线 :

137-1700-7958

0755-23248674

深圳市英能电气有限公司 深圳市英能电气有限公司

深圳市英能电气有限公司
CN EN
  • 首页
  • 真空镀膜电源产品
  • 镀膜电源研发制造
  • 服务支持
  • 新闻中心
  • 关于我们
  • 联系我们

真空镀膜电源

首页 新闻中心 行业新闻 真空镀膜电源的维护和保养介绍

真空镀膜电源的维护和保养介绍

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-06-26

  真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。

  1、真空镀膜电源每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

  2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。

  3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环无法进入工作状态。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

订阅我们的时事通讯

contact us
立刻联系我们

免费为您提供产品试用服务

深圳市英能电气有限公司
深圳市英能电气有限公司

公司地址

深圳市光明区马田街道马山头社区芳园路钟表基地森丰大厦801
深圳市英能电气有限公司

咨询电话

137-1700-7958
/
0755-23248674
深圳市英能电气有限公司
Copyright © 2022 深圳市英能电气有限公司 All Rights Reserved 版权所有

备案号:粤ICP备2021088173号

137-1700-7958 在线咨询
2963884600在线咨询

微信关注 在线咨询