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磁控溅射电源冷却方式有哪些?

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磁控溅射电源冷却方式有哪些?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-05-18

磁控溅射电源的冷却方式是我们在使用电源过程中比较关注的问题,涉及到我们电源使用稳定等各个方面,深圳英能电气有限公司在这一方面有比较好的独到的处理方式,常规是采用风冷加水冷模式,小功率采用风冷模式,还可以根据客户需求量身制定。我司采用的冷却水模式的原理以及注意事项请知悉,使电源的使用过程更加平稳和谐。

1、风冷:引入相当于室温的空气(最高40度)。 把输入空气分配到各个电源。 防止空气在每个电源外重复循环。 排出的空气不得再返回循环并防止成为输入空气

2、冷却水管应牢固连接,避免漏水,损坏电源。 冷却水进水温度20℃,冷却水水压1.5 – 3.0Kg/cm2 冷却用水应使用软化水,防止结垢。工作过程中,必须保证冷却水畅通。 当电源不工作时,应停止冷却水循环,以避免电源内部结露。

不管磁控溅射电源还是脉冲电源,冷却方式都是一样的,但是根据功率的不同会略有不同,也欢迎同行业探讨交流更深层次的问题,为电源释放热量更好的排忧解难提出更多宝贵建议。请多关注我司网站和产品介绍,也欢迎来电咨询,相信会有不一样的收获。

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