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真空镀膜电源

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真空镀膜电源的种类有哪些

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-03-25

  真空镀膜电源的种类主要包括以下几种:

  1. 直流(DC)溅射电源:这种电源主要用于磁控溅射方法中,通过在溅射靶材表面施加直流电压,使得靶材表面的原子离开靶材并沉积在基底上。它能够产生稳定的电弧并控制离子的能量和溅射速率。

  2. 射频(RF)电源:射频电源用于产生高频电场,使得材料以离子形式在真空室中沉积到基底表面上。射频电源适用于一些对直流溅射反应不佳的材料。

  3. 中频(MF)电源:中频电源也是真空镀膜设备中常用的一种电源系统,它可以根据需要接入靶基座,使用中频溅射技术。

  4. 负压直流电源:负压直流电源是用来提供负压电场的电源,主要用于控制镀膜材料在真空镀膜过程中的沉积速率和薄膜的厚度。它通常与高频电源配合使用,以实现对薄膜性质的控制和调节。

  此外,还有脉冲电源、励磁电源、加热控制电源等其他类型的真空镀膜电源,它们根据具体的镀膜工艺和需求进行选择和使用。

  以上列举的真空镀膜电源种类并非穷尽所有,随着技术的进步和应用需求的变化,可能还会有新的电源类型出现。在实际应用中,需要根据具体的镀膜材料和工艺要求选择适合的电源类型。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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