作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-11-30
中国深圳
等离子体是物质的第四态，以水为例，水是H2O，可以成为固态，气态，液态和等离子体态，当0度的时候成为冰成为固体，当0度以上就变为液体，加热到100的时候就汽化成水蒸气，10000度以上就变为了等离子体。所以等离子体是一种电离的气体，是由电子/离子/高能原子组成的集合体，整体显中性。等离子体是物质的第四态，10000度以上才成为等离子体态，10000度以上的能量状态是一般用温度来表示这个物质所具有的能量的状态，而对于等离子体来说要描述他的能量状态不是用温度而是用电子伏特,1eV=1.16*104K(绝对温度)。要注意了如果一个物质变成等离子体态，变成由电子，离子，高能原子的组成的等离子体，他的能量就是以eV单位来描述他的能量状态，一个电子伏特是10000度时这个物质所具有的能量状态。
气体中有很多带电粒子，尤其是在等离子体中，带电粒子的运动有几种方式：热运动,迁移运动和扩散运动，热运动是由于温度造成的，是由于温度提供的能量使他运动起来，所以得到了动能.电子/离子他们的运动速度除了和温度开方成正比之外，还和质量成反比，电子的质量为1，氢离子的质量为1840，那么电子的速度比离子的速度大40倍，氩离子和钛离子的质量都大于氢离子，所以他们的热运动速度比电子的速度更低了，所以这个概念要知道了电子的运动速度要比离子的运动速度大得多。
另外带电粒子要做迁移运动，什么叫迁移运动的，就是在电场的作用下向异性电极运动，前面说的等离子体整体显中性，是在没有外界电场的情况下整体显中性。可是当有了电场存在的时候，电子就要向阳极跑，离子向阴极跑，整个空间成为导体，对外就不是显中性了。带电粒子的还有一种运动就是扩散运动，就是沿着浓度方向的运动，就是带电粒子从高浓度方向流向低浓度方向。
了解了等离子体，我们也会明白溅射镀膜其实是一种带电粒子做迁移运动的过程，溅射镀膜配套的电源有中频磁控溅射电源，直流磁控溅射电源，还有偏压脉冲电源，高压中频溅射电源，方波脉冲电源，正弦波电源。对于中频电源如何试用的问题，后面会提到，如果您正好也有电源需求，不妨来了解下我司的电源，详情请咨询18025476062.
