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中频电源如何解决靶中毒问题?

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中频电源如何解决靶中毒问题?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-10-20

对于做真空镀膜加工的客户来说,“靶中毒”这个词一定不陌生,要解决靶中毒问题,自然少不了中频磁控溅射电源。先来说说引起靶材中毒的原因,主要是氧化反应气体通入太多,造成导体靶材丧失导电能力,只有提高击穿电压,靶材才能起辉,但是电压过高容易发生弧光放电现象,所以溅射靶材一直处于低电压运行状态,并伴有弧光放电,使靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。中频磁控溅射电源的出现,就是为了解决靶中毒现象,用中频磁控溅射电源来代替直流电源,减少反应气体的通入量、提高溅射速率,可以抑制靶表面弧光放电,有效防止靶中毒现象。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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