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直流磁控溅射电源类型不匹配有什么后果?

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直流磁控溅射电源类型不匹配有什么后果?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-10-24

根据真空镀膜工艺的不同,一定要匹配类型合适的真空镀膜电源。客户在咨询真空镀膜电源时聊起一个案例,在直流磁控溅射镀膜后,品检时发现镀膜后的薄膜上有许多黑色小颗粒,且大部分颗粒是突起的,客户觉得非常疑惑,基材明明已经清洗干净了,虽然客户没有具体说明溅射工艺,比如靶材、电源、气压、基体材料等,英能电气技术同事们根据以往的经验分析可能有几方面原因导致,腔体不干净带来的粉尘;靶材不致密造成的膜层疏松、靶材杂质、电源类型不匹配等方面的原因;如果是反应溅射,还可能是氧化不彻底等原因引起,所以选择合适的真空镀膜电源非常重要。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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