作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2023-10-25
HIPIMS电源属于高功率脉冲磁控溅射电源的一种，通过降低占空比到10%，在相同功率情况下，可以使得磁控溅射峰值电流大幅度的增加。在镀膜工艺中，往往希望得到高的峰值电流和靶电压，但这两者往往是矛盾的，需要在工艺中综合考虑。HIPIMS电源可调参数多，即使在相同占空比下，针对不同靶材，其脉冲宽度，占空比，靶电压与峰值电流都会出现不同的特性，增加工艺控制手段的同时，也增加了优化难度。随着靶电压的增加，峰值电流密度也会增加，但是在不同电压段，峰值电流变化趋势也不同。在长脉宽下，金属放电进入自持放电模式，会降低溅射速度，但可以增加离子种类和数量，需要根据工艺要求择优选择。
深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线：137-1700-7958
