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真空镀膜电源-磁控溅射电源的接线

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真空镀膜电源-磁控溅射电源的接线

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-05-24

很多客户收到电源之后,特别是脉冲偏压电源,对如何接线依然有些模糊,今天小编单独罗列出来给大家看看,希望对各位能有所帮助,首先了解我司电源的基本构造基本对接线就一目了然了。后面版式图如下:

image.pngimage.png

电源系统采用三相四线50/60HZ380V+5%交流供电,将相应电源线接入附带的弯式电缆护套插头内的相应接线端子上,其中1号为零线接线端。(见示意图)

image.pngimage.png

 接口1RS485通讯接口:用2芯双绞屏蔽线接插头12号位置,接法如下:(见下页)

image.pngimage.png

接口8为安全门锁接口,1号和3号为一组安全门锁信号。接法如下:

image.pngimage.png

将电源输出线从机柜后面的输出端子引出,连至装置相应接线端子,红色为正极,黑色为负极

l 接通电源内散热器的冷却水管。

l 机柜须用截面不小于2.5mm多股绞线可靠接地。

image.png

以上就是脉冲偏压电源的接线方式,如需咨询,欢迎以下联系方式来咨询。

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