作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-06-22
总有客户在磁控溅射电源使用过程中出现些小插曲，其实可能是没有掌握正确的使用方法，如果使用得当电源基本不会出现什么问题，今天小篇就总结一下电源的操作流程及注意事项：
1、操作使用程序
(1) 检查输入、输出线，确定接线无误。
(2) 将冷却水阀门打开。
(3) 确认靶与真空室外壳无短路，送气后真空室内气压符合工艺要求。
(4) 将电源开关旋钮旋到“ON”位置，风机转动及触摸屏开启，表明电源已接通。
(5) 将触摸屏“OFF”按钮按下，并保持0.5s，经过延时2s后，电源已做好输出准备。
(6) 设置电流值，电流和电压逐渐增大。
(7) 根据工艺要求调节电流，输出有效值电流和电压都将随之增加，直到所需值。如真空室内气压稳定，靶面正常，则工作电流是稳定电流。
2、关机操作
（1） 先将电流设定为零。
（2） 将触摸屏电源开关按钮按下，并保持0.5s，接触器断开，触摸屏显示“OFF”。
（3） 分断自动空气开关。
（4） 关冷却水阀门。
3、 过流复位
在设备使用过程中由于负载短路或打火而产生过流现象时，电源都将进行自动保护。当电流超过一定范围时电源将自动将电流调小，直至过流状态消失。设备状态恢复时，电流随即恢复到设定电流值。当蜂鸣器会发出“嘀…嘀…嘀”连续的声音时，表示电源启动自我保护程序，主动切断输出，请及时检查负载是否短路或电源已出现故障。为了重新恢复正常工作，您必须重新按照开机操作流程运行一次。
以上就是磁控溅射电源的使用方式，如果有真空镀膜电源需求，欢迎以下联系方式来咨询。
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