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单极性脉冲偏压电源的参数设置有哪些具体步骤?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-06

  单极性脉冲偏压电源的参数设置具体步骤如下:

  1. 按要求接好对应AC220V50HZ的单相电源,打开电源开关观察机器是否正常。

  2. 关闭脉冲启动开关(按下为启动,抬起为关闭),然后设置正负脉冲参数。首先设定正脉冲的总时间,再设置开通脉宽和关断脉宽。注意,正的总时间通常要大于负的总时间几倍,以防止镀上的金属在负脉冲的时间内被全部褪掉。

  3. 如果要用单脉冲,把负脉冲的参数(总时间、开通脉宽等)设为零即可。如果要用直流,把负参数设为0,把总时间设为最大,开通脉宽接近于总时间,关断很小即可。

  4. 按下脉冲启动开关。再点击显示屏,进入参数设置,设定正负电压参数。点击屏上的启动后,就可以开始运行。

  5. 点击运行界面,可以观看输出的正负脉冲峰值电压与电流。在运行工作时,也可以根据需要调整峰值的电压电流。

  6. 如果要改变脉冲参数,需要注意设置的参数要在脉冲启动开关停止时才有效。

  这些步骤完成后,单极性脉冲偏压电源的参数就设置好了。请注意,以上步骤仅供参考,具体操作可能会因设备型号和工艺需求的不同而有所差异。在设置参数时,务必参考设备手册并遵循相关的安全操作规程。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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