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首页 新闻中心 行业新闻 离子源电源如何精确控制离子束的能量?

离子源电源如何精确控制离子束的能量?

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-20

  离子源电源通过精确控制高压电源的电压和电流来影响离子束的能量。以下是其工作原理:

  首先,高压电源的电压和电流直接影响离子束的加速速度和能量分布。通过改变高压电源的输出电压和电流,可以实现对离子束的加速和减速,进而控制离子束的速度和能够达到的能量范围。

  在这个过程中,高压电源的稳定性和精度对能量分布的精确控制起着至关重要的作用。只有高度稳定的高压电源才能够得到可靠的能量分布和刻画场合的控制精度。

  此外,高压电源的电路结构和控制方式也会影响离子束的空间分布,这也与离子束的能量控制密切相关。离子束的空间分布在粒子加速中同样重要,因为这直接关系到粒子束的束流控制和稳定性、束流增强能力的提高以及束流对应靶物材料的破坏程度等方面。

  因此,在高压电源的选择和设计中,需要考虑到控制离子束的空间分布和精度,以确保离子束的能量控制精度。同时,还需要相应的控制系统和过程值来确保精度和控制性能。

  综上,离子源电源通过精确控制高压电源的电压和电流,以及优化高压电源的控制模式和精确度,来控制离子束的能量、速度和空间分布,从而实现离子束能量的精确控制。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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