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离子源的功能和分类

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-20

  离子源的功能是将中性原子或分子电离,并从中引出离子束流。它是离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置等设备的不可缺少的部件。它能够将样品导入系统引入的气态样品分子转化成离子,同时又具有准直和聚集作用,使离子会聚成具有一定几何形状和能量的离子束进入质量分析器。

  离子源根据工作原理的不同,可以分为以下几类:

  热离子源:通过加热物质来产生离子束,如热阴极离子源和热阳极离子源。热阴极离子源是利用阴极加热产生的热电子来电离气体分子从而产生离子束的一种离子源。

  电离源:通过电离过程产生离子束,如电子轰击电离源和化学电离源。电加热锑或钨丝到高温产生高速的电子束,样品经过气化进入电离室,与电子流撞击,若获得能量高于分子的电离能则分子失去电子而发生电离或碎裂。

  离子化源:通过气体放电等方式将中性粒子转化为离子束,如电喷雾离子源和电火花离子源。

  加速器源:利用离子加速器将中性粒子加速并转化为离子束。

  此外,按照引出离子电负性种类的差别,离子源可以分为正离子源与负离子源;按照离子源内部离子生成原理的差别,离子源可以分为等离子体离子源、表面电离离子源、溅射离子源、电荷交换离子源、电子电离离子源等种类;按照离子源中产生离子材料的差别还可分为气体离子源、液态金属离子源、固体离子源等类别。

  以上信息仅供参考,如需更多关于离子源的信息,建议查阅相关文献或咨询专业人士。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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