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中频磁控溅射电源的使用注意事项

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-28

  使用中频磁控溅射电源时,需要注意以下事项以确保设备的安全稳定运行和溅射过程的有效性:

  操作规范:操作人员必须严格遵守操作规程,了解并熟悉设备的操作指南。不正确的操作可能会导致设备损坏或安全事故。

  个人防护:操作人员应正确穿戴个人防护装备,如防护眼镜、防护服和手套,以防止溅射过程中产生的有害物质对身体造成伤害。

  通风系统:溅射过程中会产生大量的气体和粉尘,需要有良好的通风系统将有害物质快速排出工作区域,保持空气清新。通风系统应定期检查和维护,确保其正常运行。

  设备检查:定期检查溅射设备和相关的控制系统,确保设备安全可靠的运行。这包括检查电源线路、开关、变压器、电容器和电阻器等部件的工作状态,以及设备连接是否紧固、无磨损或破损。

  溅射室冷却:在溅射结束后,需要等待溅射室内部温度冷却到室温后再进行放气和装卸操作。高温操作可能导致设备损坏或操作人员受伤。

  样品装卸:在装卸试样与靶材时,应戴一次性薄膜手套,避免油污、灰尘等污染。同时,需要注意试验所用样品座位置与档板上溅射孔的对应,并记录样品座的编号及目前所对应的靶位。

  电源安全:磁控溅射器需要通过高压电源将靶材的离子轰击成溅射物,因此在使用电源时,需要注意安全事项。在开启或关闭电源时,必须先打开或关闭控制面板上的电源开关,避免触电危险。电源必须接地,避免因静电引起的设备故障。严禁擅自拆卸或改变电路连接方式,避免因电路短路引起火灾等事故。

  溅射废物处理:溅射过程中产生的废物,如靶材残渣和溅射沉积物,可能含有有害物质。这些废物应妥善处理,遵循相关的环境法规和规定。

  定期清洁与维护:定期清洁设备表面和内部,移除积累的粉尘和杂质,以保持设备的正常运行。同时,需要定期对设备进行维护,如更换磨损的部件、校准控制系统等。

  遵循以上注意事项,可以确保中频磁控溅射电源的安全稳定运行和溅射过程的有效性。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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