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真空镀膜电源

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离子源电源的分类

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-28

  离子源电源主要可以分为以下几种类型:

  弧放电离子源:这是一种基于气体放电过程的离子源,被广泛使用。它的工作原理是通过电弧放电使气体电离,从而产生离子束。

  PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源:这些离子源也主要基于气体放电过程,具有相似的工作原理。

  高频离子源:高频离子源则是通过气体中的高频放电来产生离子的。这种离子源具有广泛的用途。

  新型重离子源:随着技术的发展,新型重离子源如电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)已经出现,这些离子源能使重离子的电荷态显著提高。

  在离子源电源中,根据栅网的使用情况,还可以进一步细分为无栅网离子源和栅网型离子源。无栅网离子源主要通过阴极引出离子,并通过磁场对离子作用产生离子束。栅网型离子源则通过栅网对离子的筛选加速等作用,可更好地控制束型及离子能量。栅网型离子源根据电源类型,又可以分为考夫曼离子源和射频离子源等。

  以上内容仅供参考,如需更多关于离子源电源的详细信息,建议查阅相关学术文献或咨询专业研究人员。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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