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真空镀膜电源

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单极性脉冲磁控溅射电源的应用领域

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-05-31

  单极性脉冲磁控溅射电源主要用于金属、合金及石墨等靶材镀制金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。

  磁控溅射是物理气相沉积(PVD)技术的一种,起步于上世纪70年代,凭借高速、低温、环保、成膜速率高等特点,磁控溅射技术应用领域日益扩展,磁控溅射设备需求随之释放。磁控溅射设备可用于制备金属、半导体、绝缘体、复合铜箔等材料,在集成电路、光电子器件、超导体、通信、太阳能电池、平板显示等领域应用前景广阔。

  随着相关技术的进步和需求升级,磁控溅射设备将向着高精度、智能化、高效率方向升级。因此,单极性脉冲磁控溅射电源在这些领域具有广泛的应用前景。

  深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业,主要产品:中频磁控溅射电源单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源,阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源,HIPIMS电源等。已获高新技术企业、iso9001认证,拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。咨询热线:137-1700-7958

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