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单极性脉冲磁控溅射电源使用注意事项

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2024-06-03

  在使用单极性脉冲磁控溅射电源时,需要注意以下事项:

  安全操作:在开启或关闭电源时,必须先打开或关闭控制面板上的电源开关,避免触电危险。使用电源时,必须接地,避免因静电引起的设备故障。严禁擅自拆卸或改变电路连接方式,避免因电路短路引起火灾等事故。

  设备准备:在操作前,确保磁控溅射器已经正确安装和配置。例如,靶材不得有严重损坏和缺陷,否则容易引起爆炸事故。

  溅射过程:单次溅射时间请勿超过120s,若需溅射厚电极膜,可多次溅射。溅射时,请确保离子溅射仪的工作电流稳定,再开始溅射。若要单次长时间溅射,需要配置水冷机进行冷却。

  样品处理:禁止使用未干燥的样品及未黏附的粉末样品。在拿起上盖放样品时,请将上盖以原始方向放置于溅射池侧边。

  防护措施:操作前需要穿戴好防护用具,如手套、眼镜、防护服等。禁止用手碰触靶材,也防止脏东西及样品粘附至靶材上,影响使用。

  清洁与维护:在生产过程中及操作后,及时清理设备产生的尘粒和污物,以确保设备的正常运行。在更换靶材时,需要先切断电源并等待设备完全冷却后再进行操作。

  故障处理:在设备故障时,应当及时切断电源,并通知专业人士进行检修。

  此外,还有一些特定于单极性脉冲磁控溅射电源的注意事项:

  电源参数:根据具体的镀膜需求和设备要求,调整电源的输出电压、电流、频率等参数,确保其在合适的范围内。

  冷却系统:确保电源的冷却系统正常运行,避免过热导致设备损坏或性能下降。

  磁场控制:对于磁控溅射电源,磁场控制是非常重要的。确保磁场强度、方向等参数符合工艺要求,以获得理想的溅射效果。

  总之,在使用单极性脉冲磁控溅射电源时,需要遵循相关的安全操作规程和设备要求,确保设备的正常运行和镀膜质量。

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