作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2024-06-03
在使用单极性脉冲磁控溅射电源时，需要注意以下事项：
安全操作：在开启或关闭电源时，必须先打开或关闭控制面板上的电源开关，避免触电危险。使用电源时，必须接地，避免因静电引起的设备故障。严禁擅自拆卸或改变电路连接方式，避免因电路短路引起火灾等事故。
设备准备：在操作前，确保磁控溅射器已经正确安装和配置。例如，靶材不得有严重损坏和缺陷，否则容易引起爆炸事故。
溅射过程：单次溅射时间请勿超过120s，若需溅射厚电极膜，可多次溅射。溅射时，请确保离子溅射仪的工作电流稳定，再开始溅射。若要单次长时间溅射，需要配置水冷机进行冷却。
样品处理：禁止使用未干燥的样品及未黏附的粉末样品。在拿起上盖放样品时，请将上盖以原始方向放置于溅射池侧边。
防护措施：操作前需要穿戴好防护用具，如手套、眼镜、防护服等。禁止用手碰触靶材，也防止脏东西及样品粘附至靶材上，影响使用。
清洁与维护：在生产过程中及操作后，及时清理设备产生的尘粒和污物，以确保设备的正常运行。在更换靶材时，需要先切断电源并等待设备完全冷却后再进行操作。
故障处理：在设备故障时，应当及时切断电源，并通知专业人士进行检修。
此外，还有一些特定于单极性脉冲磁控溅射电源的注意事项：
电源参数：根据具体的镀膜需求和设备要求，调整电源的输出电压、电流、频率等参数，确保其在合适的范围内。
冷却系统：确保电源的冷却系统正常运行，避免过热导致设备损坏或性能下降。
磁场控制：对于磁控溅射电源，磁场控制是非常重要的。确保磁场强度、方向等参数符合工艺要求，以获得理想的溅射效果。
总之，在使用单极性脉冲磁控溅射电源时，需要遵循相关的安全操作规程和设备要求，确保设备的正常运行和镀膜质量。
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