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偏压电源介绍 Bias power supply

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偏压电源介绍 Bias power supply

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-12-07

偏压电源Bias power supply )是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在真空离子镀膜中,偏压电源的好坏对于成膜质量起着非常关键的作用。

偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压。偏压电源的正极接到真空室上,同时真空室接地,偏压的负极接到工件上。由于大地的电压一般认为是零电位,所以工件上的电压习惯说负偏压。

负偏压的作用

1.提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力

2.通过偏压轰击,在膜层与基体之间生成一层与二者均相容的过渡金属层,以便于膜层与基体结合。

3.靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则,调整膜层颜色与性能。

4.通过带电离子的轰击,对基片产生加热效应。

5.清除基片上吸附的气体和油污等,有利于提高膜层结合强度。

6.活化基体表面。

7.对电弧离子镀(Arc Ion Plating)中的大颗粒有净化作用。

英能电气致力于真空镀膜机电源的研发和生产,确保镀膜过程中电压电流的稳定性,镀膜效率高。因客户需求不同,具体情况分别面对,如您有相关需求,赽快联系小编免费试用吧!180 2690 9337(微信同号)



 

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