作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-12-09
脉冲偏压电源（Bias power supply），是真空电弧离子镀和磁控溅射镀膜或其它真空物理气相沉积设备的重要组成部分，针对镀膜工艺的不同，偏压电源也分了不同的种类。
根据波形可分为：
一、直流偏压电源
二、直流脉冲偏压
主要特点
1.高频单极性脉冲偏压施压在工件上，相比直流偏压而言，由于存在电压中断间隙，能有效减少打火次数，保护工件表面。
2.脉冲间隙期间，工件表面积累的电荷可以被中和，从而减少了表面电荷积累引起的打火。
3.高频逆变技术中的快速关断能力，能有效减少每次打火释放的能量，即使在打火出现时，也能明显降低工件表面大损伤程度。
4.脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低。
5.可以通过调节频率、占空比要改善和控制成膜速度和质量。
三、直流叠加脉冲偏压
主要特点
1.具有单极性脉冲偏压电源的所有特点。
2. 直流和直流叠加脉冲模式下，消除了单极性脉冲间隙间离子能量很低的问题。
四、双极性脉冲偏压
主要特点
1. 负脉冲的作用同单极性脉冲偏压电源，正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子来中和工件表面的正电荷积累。因为电子的质量远小于离子，加速很容易，所以正脉冲的幅值远小于负脉冲幅值，通常为10～100V，正、负脉冲的电流积分应相等。所以正电源的功率比负电源的功率小很多。
2. 当正电源电压为零时，双极性脉冲偏压就变成单极性脉冲偏压。
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