作者：深圳市英能电气有限公司
时间：2022-12-29
脉冲偏压电源是真空电弧离子镀和磁控溅射镀膜或其它真空物理气相沉积设备的重要组成部分，在真空离子镀膜中，尤其对于多弧离子镀膜，无论是装饰镀还是工具镀，脉冲偏压电源的好坏对于成膜质量都起着非常关键的作用。脉冲偏压电源对装饰镀和工具镀对膜层质量的要求有相同之处又各有侧重。
脉冲偏压电源对膜层的影响机制是很复杂的，很多公司和科研机构做了大量研究，对不不同膜层和不同设备，影响的方式和结果有很大不同，下面列出了一些主要影响，可以根据自己的使用工艺，观察总结，就可以很快摸清偏压对膜层的影响规律。
1. 膜层结构、结晶构造取向、组织结构
2. 沉积速率
3. 大颗粒净化
4. 膜层硬度
5. 膜层致密度
6. 表面形貌
7. 内应力
脉冲偏压电源对于真空镀膜的作用非常重要，其优点是提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力。
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