全国服务热线 :

137-1700-7958

0755-23248674

深圳市英能电气有限公司 深圳市英能电气有限公司

深圳市英能电气有限公司
CN EN
  • 首页
  • 真空镀膜电源产品
  • 镀膜电源研发制造
  • 服务支持
  • 新闻中心
  • 关于我们
  • 联系我们

中频磁控溅射电源的基本原理、特点与应用

首页 新闻中心 行业新闻 中频磁控溅射电源的基本原理、特点与应用

中频磁控溅射电源的基本原理、特点与应用

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-05-17

中频磁控溅射电源是一种高效能、高稳定性的工业用电源。它是将大功率中频电源与磁控溅射技术相结合,以达到高质量、高效率、高稳定性的夹层制备工艺。下面将介绍中频磁控溅射电源的基本原理、特点与应用。

1. 基本原理

中频磁控溅射电源是将电力、电子和磁学等领域交叉融合,从而实现材料的高效夹层制备。中频电源是用中等频率(20 kHz至30 MHz)的电源来激励电感,并通过电感将能量传递到磁控溅射阀丝,并使阀丝产生震荡,从而形成高能量束流,逐渐磨损并释放原子,用来涂覆基片。

2. 特点

中频磁控溅射电源具有以下特点:

高效率:中频电源可以提供稳定、高效的能量,可以更快速、更均匀地形成溅射等离子体,从而可以用较短的时间涂覆出更大的面积,大大缩短生产时间。

高稳定性:中频电源稳定性好,其输出电流和电压波动小,可以减少生产过程中的异常情况和误差,提高生产效率和质量。

高档次:中频磁控溅射电源提供高质量的溅射等离子体,可以制备出材料的高质量、高性能的夹层结构,使得产品更适应市场需求。

3. 应用

中频磁控溅射电源广泛应用于红宝石激光、VD射频退火、液晶显示、半导体材料、太阳能电池板、先进涂层等领域。在各种应用领域中,中频磁控溅射电源被认为是最好的材料表面涂覆工具之一,并在各种工业和研究应用中得到了广泛应用。

4. 结论

中频磁控溅射电源具有高效率、高稳定性、高档次等特点,广泛应用于各种领域,可以通过高效的生产技术大幅提高产品开发过程中的效率和质量。在未来的工业革命中,中频磁控溅射电源将发挥越来越重要的作用。


订阅我们的时事通讯

contact us
立刻联系我们

免费为您提供产品试用服务

深圳市英能电气有限公司
深圳市英能电气有限公司

公司地址

深圳市光明区马田街道马山头社区芳园路钟表基地森丰大厦801
深圳市英能电气有限公司

咨询电话

137-1700-7958
/
0755-23248674
深圳市英能电气有限公司
Copyright © 2022 深圳市英能电气有限公司 All Rights Reserved 版权所有

备案号:粤ICP备2021088173号

137-1700-7958 在线咨询
2963884600在线咨询

微信关注 在线咨询