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真空镀膜磁控溅射电源的操作使用流程及注意事项

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真空镀膜磁控溅射电源的操作使用流程及注意事项

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-06-22

总有客户在磁控溅射电源使用过程中出现些小插曲,其实可能是没有掌握正确的使用方法,如果使用得当电源基本不会出现什么问题,今天小篇就总结一下电源的操作流程及注意事项:

1、操作使用程序

(1) 检查输入、输出线,确定接线无误。

(2) 将冷却水阀门打开。

(3) 确认靶与真空室外壳无短路,送气后真空室内气压符合工艺要求。

(4) 将电源开关旋钮旋到“ON”位置,风机转动及触摸屏开启,表明电源已接通。

(5) 将触摸屏“OFF”按钮按下,并保持0.5s,经过延时2s后,电源已做好输出准备。

(6) 设置电流值,电流和电压逐渐增大。

(7) 根据工艺要求调节电流,输出有效值电流和电压都将随之增加,直到所需值。如真空室内气压稳定,靶面正常,则工作电流是稳定电流。

2、关机操作

1) 先将电流设定为零。

2) 将触摸屏电源开关按钮按下,并保持0.5s,接触器断开,触摸屏显示“OFF”。

3) 分断自动空气开关。

4) 关冷却水阀门。

3、 过流复位

在设备使用过程中由于负载短路或打火而产生过流现象时,电源都将进行自动保护。当电流超过一定范围时电源将自动将电流调小,直至过流状态消失。设备状态恢复时,电流随即恢复到设定电流值。当蜂鸣器会发出“嘀…嘀…嘀”连续的声音时,表示电源启动自我保护程序,主动切断输出,请及时检查负载是否短路或电源已出现故障。为了重新恢复正常工作,您必须重新按照开机操作流程运行一次。

以上就是磁控溅射电源的使用方式,如果有真空镀膜电源需求,欢迎以下联系方式来咨询。

联系电话:18025476062(微信同号)


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