全国服务热线 :

137-1700-7958

0755-23248674

深圳市英能电气有限公司 深圳市英能电气有限公司

深圳市英能电气有限公司
CN EN
  • 首页
  • 真空镀膜电源产品
  • 镀膜电源研发制造
  • 服务支持
  • 新闻中心
  • 关于我们
  • 联系我们

偏压电源的种类 Type of bias power supply

首页 新闻中心 公司新闻 偏压电源的种类 Type of bias power supply

偏压电源的种类 Type of bias power supply

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2022-12-09

脉冲偏压电源(Bias power supply),是真空电弧离子镀和磁控溅射镀膜或其它真空物理气相沉积设备的重要组成部分,针对镀膜工艺的不同,偏压电源也分了不同的种类。

根据波形可分为:

一、直流偏压电源

 

1.jpg

 

二、直流脉冲偏压

 

直流脉冲偏压波形.jpg

主要特点

1.高频单极性脉冲偏压施压在工件上,相比直流偏压而言,由于存在电压中断间隙,能有效减少打火次数,保护工件表面。

2.脉冲间隙期间,工件表面积累的电荷可以被中和,从而减少了表面电荷积累引起的打火。

3.高频逆变技术中的快速关断能力,能有效减少每次打火释放的能量,即使在打火出现时,也能明显降低工件表面大损伤程度。

4.脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低。

5.可以通过调节频率、占空比要改善和控制成膜速度和质量。


三、直流叠加脉冲偏压

 

直流叠加脉冲.jpg

主要特点

1.具有单极性脉冲偏压电源的所有特点。

2. 直流和直流叠加脉冲模式下,消除了单极性脉冲间隙间离子能量很低的问题。


四、双极性脉冲偏压

 

双极性脉冲.jpg

 

主要特点

1. 负脉冲的作用同单极性脉冲偏压电源,正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子来中和工件表面的正电荷积累。因为电子的质量远小于离子,加速很容易,所以正脉冲的幅值远小于负脉冲幅值,通常为10~100V,正、负脉冲的电流积分应相等。所以正电源的功率比负电源的功率小很多。

2. 当正电源电压为零时,双极性脉冲偏压就变成单极性脉冲偏压。

英能电气致力于真空镀膜机电源的研发和生产,确保镀膜过程中电压电流的稳定性,镀膜效率高。因客户需求不同,具体情况分别面对,如您有相关需求,赽快联系小编免费试用吧!180 2690 9337(微信同号)



contact us
立刻联系我们

免费为您提供产品试用服务

深圳市英能电气有限公司
深圳市英能电气有限公司

公司地址

深圳市光明区马田街道马山头社区芳园路钟表基地森丰大厦801
深圳市英能电气有限公司

咨询电话

137-1700-7958
/
0755-23248674
深圳市英能电气有限公司
Copyright © 2022 深圳市英能电气有限公司 All Rights Reserved 版权所有

备案号:粤ICP备2021088173号

137-1700-7958 在线咨询
2963884600在线咨询

微信关注 在线咨询