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真空镀膜电源之冷却方式

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真空镀膜电源之冷却方式

作者:深圳市英能电气有限公司

时间:2023-04-19

单极性磁控溅射电源也可以称为脉冲直流电源,与普通直流电源相比,多了一个占空比设置,其目的是为了防止真空镀膜过程中,更好地抑弧能力,有效防止打火。降低因打火导致地产品不良率。当占空比调到最大,就可以当做普通直流电源来使用,当镀膜过程中出现打火,直接减小占空比,提高抑弧能力,能有效地抑制打火。

EPS电源在设计初期就融入了过流、过压、短路、接地、漏电和过热保护,就拿过热保护来说,当电源工作时温度高于55度,电源会自动停止工作,直至温度降低,从而有效保护电源内部元器件不被烧坏。所以电源的散热是非常重要的。

真空镀膜电源常用的散热方式是风冷和水冷,风冷就是利用空气作为介质,通过马达带动散热风扇将热量散发出去,散热效果有一定的局限性,比如常见的电脑或笔记本就是采用风冷散热。而水冷则是利用水作为介质,通过水泵循环引流形成的水流把热量带走,散热效果较风冷更为优越。

EPS专业研发、生产真空镀膜电源,热忱欢迎新老客户来公司指导工作。


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